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官方微信摘要 名稱納米金剛石粉預(yù)處理的大面積金剛石膜材料的生長(zhǎng)工藝公開(kāi)號(hào)1275635公開(kāi)日2000.12.06主分類號(hào)C23C1
| 名稱 | 納米金剛石粉預(yù)處理的大面積金剛石膜材料的生長(zhǎng)工藝 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1275635 | 公開(kāi)日 | 2000.12.06 |
| 主分類號(hào) | C23C16/27 | 分類號(hào) | C23C16/27 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 00118919.0 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 2000.06.16 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 吉林大學(xué) | 地址 | 130012吉林省長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)前衛(wèi)路10號(hào) |
| 發(fā)明人 | 顧長(zhǎng)志; 金曾孫 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 吉林大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人 | 王恩遠(yuǎn) |
| 摘要 | 本發(fā)明屬金剛石膜材料的制備工藝。包括預(yù)處理和長(zhǎng)膜兩個(gè)過(guò)程。預(yù)處理是將襯底在納米級(jí)金剛石粉乙醇溶液中浸漬，再高溫氫氣氛等離子體中退火兩小時(shí)形成均勻高密度仔晶；長(zhǎng)膜是氫氣和甲烷為原料氣體，在化學(xué)氣相沉積裝置中，在５～１５ｍｂａｒ氣壓和６００～９５０℃襯底溫度條件生長(zhǎng)金剛石膜。本發(fā)明能生長(zhǎng)均勻大面積金剛石膜，具有高附著力、低界面態(tài)密度、高可靠性、高品質(zhì)與低成本等優(yōu)良特性 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)