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官方微信摘要 名稱晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置申請?zhí)?01210062228申請日2012年3月9日公告號102544240A公
| 名稱 | 晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置 | ||
| 申請?zhí)?/strong> | 201210062228 | 申請日 | 2012年3月9日 |
| 公告號 | 102544240A | 公告日 | 2012年7月4日 |
| 代理機構(gòu) | 濟南圣達專利商標事務(wù)所有限公司( 37221 ) | 代理人 | 王立曉 |
| 申請人 | 潤峰電力有限公司 | 地址 | 山東省濟寧市微山縣微山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)潤峰工業(yè)園 |
| 發(fā)明人 | 楊雷 何晨旭 殷海亭 凌振江 王冬松 王步峰 | 主分類號 | H01L 31/18 |
| 國家/省市 | 中國山東( 37 ) | 分類號 | H01L 31/18 B28D 5/00 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置，裝置包括由一個出線輪、兩個張力輪、多個導輪、兩個輥輪、一個收線輪及纏繞在它們上面的金剛石切割線組成的切割線運動系統(tǒng)，輥輪與電機相連帶動金剛石切割線運動，張力輪控制金剛石切割線的張力，兩個輥輪之間對應的金剛石切割線上方設(shè)有固定裝置，固定裝置上固定有硅塊，輥輪、導輪及纏繞在其上的金剛石切割線置于盛有制絨切削液的液槽內(nèi)。將制絨切削液注入到切片機的液槽內(nèi)，浸沒金剛石切割線和硅塊；轉(zhuǎn)動輥輪，逐漸緩慢下壓硅塊接觸金剛石切割線進行切片。本發(fā)明可以有效的解決切片過程中所產(chǎn)生的應力問題，使得切片和制絨能夠同時進行，減少了化學品和工藝設(shè)備的使用，縮短了工藝流程。 | ||
| 獨立權(quán)利要求 | １．晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，包括由一個出線輪、兩個張力輪、多個導輪、兩個輥輪、一個收線輪及纏繞在它們上面的金剛石切割線組成的切割線運動系統(tǒng)，輥輪與電機相連帶動金剛石切割線運動，張力輪控制金剛石切割線的張力，兩個輥輪之間對應的金剛石切割線上方設(shè)有固定裝置，固定裝置上固定有硅塊，輥輪、導輪及纏繞在其上的金剛石切割線置于盛有制絨切削液的液槽內(nèi)。 | ||
附件：視圖說明
豫公網(wǎng)安備41019702003646號