摘要 美國(guó)北卡羅來納州立大學(xué)(NCSU)JayNarayan教授率領(lǐng)其團(tuán)隊(duì)研發(fā)出一種六方氮化硼(h-CBN)轉(zhuǎn)化立方氮化硼(CBN)的新型制備方法,轉(zhuǎn)化速度和制備成本比傳統(tǒng)工藝更快、更加...
美國(guó)北卡羅來納州立大學(xué)(NCSU)Jay Narayan教授率領(lǐng)其團(tuán)隊(duì)研發(fā)出一種六方氮化硼(h-BN)轉(zhuǎn)化
立方氮化硼(
CBN)的新型制備方法,轉(zhuǎn)化速度和制備成本比傳統(tǒng)工藝更快、更加低廉,有望用于高功率電子器件、晶體管和固態(tài)元件等的應(yīng)用。
氮化硼有四種基本形式,其中h-BN和CBN是電子設(shè)備領(lǐng)域應(yīng)用最為廣泛的兩種,其結(jié)構(gòu)和屬性與
金剛石和
石墨極其類似。在集成電路應(yīng)用方面,CBN的熱導(dǎo)性能非常好;其高頻功率性能可以和硅相媲美。
NCSU團(tuán)隊(duì)的這種新型制備方法既可以生產(chǎn)傳統(tǒng)立方氮化硼,又可以制備出一種稱之為Q-氮化硼(Q-BN)的新型物質(zhì),’Q’代表這種材料的“淬火”相,將其加熱到一定溫度然后迅速冷卻。早在2015年的應(yīng)用物理期刊上,該團(tuán)隊(duì)就發(fā)表了關(guān)于Q-碳也即碳的一種新型相的研究;此次Q-BN的研發(fā)就建立在該基礎(chǔ)上。
Narayan教授說:“這是繼Q-碳研發(fā)和Q-碳轉(zhuǎn)化金剛石之后的又一技術(shù)成果。借助動(dòng)力控制和時(shí)間控制,我們成功繞開氮化硼熱動(dòng)力技術(shù)瓶頸,研發(fā)出了氮化硼的新型相”。

該研究發(fā)表在APL材料期刊,Narayan及其團(tuán)隊(duì)利用厚度為500-10000納米的熱力穩(wěn)定性較好的h-BN層,來制備Q-BN和CBN。將h-BN層放置在襯底上,利用高功率激光脈沖對(duì)其進(jìn)行加熱至2530℃,襯底吸收了熱量從而完成對(duì)h-BN層的“淬火”。整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程在室溫下操作進(jìn)行,為時(shí)僅五分之一微秒(五百萬分之一秒)。
實(shí)驗(yàn)的關(guān)鍵在于h-BN層下面的襯底制備,該襯底影響著h-BN層的冷卻速度。通過對(duì)冷卻工藝的控制可以決定生成物是傳統(tǒng)CBN還是新型Q-BN。
h-BN轉(zhuǎn)化CBN的新型方法的最大優(yōu)勢(shì)在于成本低廉,室溫壓力操作,要求溫度相對(duì)較低;而傳統(tǒng)工藝需要將溫度提高至3225℃,壓力高達(dá)95000個(gè)大氣壓。
低廉快速的制備工藝使得CBN在電子設(shè)備的應(yīng)用研究上更加便捷,其優(yōu)勢(shì)或?qū)⒋笥诮饎偸@?,CBN的帶隙比金剛石高,在高功率元件應(yīng)用方面更具優(yōu)勢(shì)。
Narayan補(bǔ)充道:現(xiàn)在,我們可以利用CBN制備大面積的單晶薄膜,還可以對(duì)其進(jìn)行n型和p型摻雜物鍍附,用于高功率晶體管和轉(zhuǎn)換開關(guān)的研發(fā)制備。這些技術(shù)可以替代體積笨重的變壓器,為超級(jí)電力高速公路構(gòu)建下一代電網(wǎng)。
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