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官方微信摘要 名稱金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法公開(kāi)號(hào)1191243公開(kāi)日1998.08.26主分類號(hào)C23C16/26&nb
| 名稱 | 金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1191243 | 公開(kāi)日 | 1998.08.26 |
| 主分類號(hào) | C23C16/26 | 分類號(hào) | C23C16/26 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 97125204.1 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1997.12.26 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 復(fù)旦大學(xué); 寶山鋼鐵(集團(tuán))公司 | 地址 | 200433上海市邯鄲路220號(hào) |
| 發(fā)明人 | 應(yīng)萱同; 王小寶 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 復(fù)旦大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人 | 姚靜芳 |
| 摘要 | 本發(fā)明是一種金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法。目前金剛石薄膜窗口透光波段的研究及應(yīng)用局限在２．５—２５μｍ范圍，使用中受到限制。本發(fā)明用電子束輔助熱燈絲化學(xué)氣相沉積方法；兩步法高密度成核金剛石優(yōu)化生長(zhǎng)工藝；多光束干涉法薄膜厚度監(jiān)控，克服了光在近紅外波段的散射問(wèn)題，研制成功具有光學(xué)鏡面級(jí)表面的金剛石薄膜，制得的窗口用于近紅外（１．１—１．８μ）探測(cè)器，靈敏可靠，抗高溫，抗腐蝕，抗水，抗塵，堅(jiān)硬耐磨，維護(hù)方便。 | ||
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