手機(jī)資訊
官方微信摘要 名稱(chēng)用巴基管作基底涂層的金剛石薄膜制造方法公開(kāi)號(hào)1136088公開(kāi)日1996.11.20主分類(lèi)號(hào)C23C16/26&
| 名稱(chēng) | 用巴基管作基底涂層的金剛石薄膜制造方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1136088 | 公開(kāi)日 | 1996.11.20 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C16/26 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/02 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 96102608.1 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1996.02.09 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 清華大學(xué) | 地址 | 100084北京市海淀區(qū)清華園 |
| 發(fā)明人 | 高志棟; 梁吉; 魏秉慶; 曾效舒; 吳德海; 王克忠; 李玉 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 清華大學(xué)專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 章瑞溥 |
| 摘要 | 一種金剛石薄膜的制造方法，屬非金屬元素的制備領(lǐng)域。本方法是在基底上涂刷混合于苯、酚、醇等有機(jī)溶劑中的巴基管溶液，干燥后將基底放入真空室內(nèi)，充入碳?xì)浠衔餁怏w(CH#-[4]或C#-[2]H#-[2]）與H#-[2]的混合氣體，加熱混合氣體及基底，使碳沉積在基底上，合成金剛石薄膜。用本發(fā)明方法制造金剛石薄膜生長(zhǎng)速度快、質(zhì)量高?！?/td> | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)