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官方微信摘要 名稱類金剛石薄膜作光學增透膜的新應(yīng)用公開號1076552公開日1993.09.22主分類號H01L31/0216
| 名稱 | 類金剛石薄膜作光學增透膜的新應(yīng)用 | ||
| 公開號 | 1076552 | 公開日 | 1993.09.22 |
| 主分類號 | H01L31/0216 | 分類號 | H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/18;C23C16/26;C23C16 |
| 申請?zhí)?/strong> | 92108354.8 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1992.03.17 | |
| 頒證日 | 上海科學技術(shù)大學 | 優(yōu)先權(quán) | 201800上海市嘉定縣南門城中路20號 |
| 申請人 | 夏義本; 安其霖; 居建華; 史偉民; 王鴻 | 地址 | |
| 發(fā)明人 | 國際申請 | ||
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 上海高校專利事務(wù)所 | 代理人 | 張建成 |
| 摘要 | 類金剛石薄膜以高頻等離子體氣相淀積法，涂覆于硅太陽能與紅外探測器上，具有增透膜的用途。本發(fā)明解決了該類光電器件原有增透膜的光電轉(zhuǎn)換率及光透性差問題，特別是應(yīng)用于硅太陽能電池上，已使其光譜響應(yīng)明顯提高；短路電流增加率達３７．９％，也已接近４０％理論值；于６００～７００ｎｍ波長內(nèi)量子效率近于１。用于紅外探測器特別是碲鎘汞材料所制器件，既解決了８～１４μｍ光增透材料，而且使透射率平均提高１６％。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號