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官方微信摘要 名稱激光窗口材料氯化鉀晶體類金剛石防潮保護(hù)膜公開號1066332公開日1992.11.18主分類號G02B1/02&
| 名稱 | 激光窗口材料氯化鉀晶體類金剛石防潮保護(hù)膜 | ||
| 公開號 | 1066332 | 公開日 | 1992.11.18 |
| 主分類號 | G02B1/02 | 分類號 | G02B1/02;G02B1/10;C23C14/06;C23C14/34 |
| 申請?zhí)?/strong> | 91102583.9 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | ||
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 北京科技大學(xué) | 地址 | 100083北京市學(xué)院路30號 |
| 發(fā)明人 | 呂反修; 楊保雄; 葉銳曾; 程德剛; 于文秀; 孫金標(biāo) | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 北京科技大學(xué)專利代理事務(wù)所 | 代理人 | |
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種強(qiáng)激光窗口材料ＫＣｌ晶體類金剛石防潮保護(hù)碳膜的制造方法，即采用高純石墨靶在高純氫氣氣氛中的直流濺控濺射方法制備類金剛石碳膜。其濺射功率為１００—１２００瓦，氬壓為５—１３Ｐａ，并在濺射前“洗靶”。類金剛石碳膜沉積速率為５—６０Ａ／ｍｉｎ，與ＫＣｌ晶體有良好的附著力。適合于千瓦級以上工業(yè)和軍事高功率ＣＯ#-[２]激光ＫＣｌ窗口和透鏡的防潮保護(hù)膜，也適合于一般中小功率紅外光學(xué)器件及其它各種紅外光學(xué)材料。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號