金剛石膜生長電極彈性張緊裝置
關(guān)鍵詞 金剛石膜 , 電極 , 彈性張緊裝置|2012-03-23 09:43:18|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 專利號:CN102226273A申請人:南京航空航天大學一種金剛石膜生長電極彈性張緊裝置,包括底板和襯底工作臺,其特
專利號:CN102226273A
申請人:南京航空航天大學
一種金剛石膜生長電極彈性張緊裝置,包括底板和襯底工作臺,其特征是所述熱絲的兩端固定在對應的左鉬電極和右鉬電極中,所述的左鉬電極和右鉬電極分別安裝在對應的左彈性支架和右彈性支架的上端,所述的左彈性支架和右彈性支架的下端對稱安裝在襯底工作臺兩側(cè)的底板上;所述的左彈性支架和右彈性支架的彈性系數(shù)k=(1~3)n*r2 ,其中r=0.1~1mm;左彈性支架和右彈性支架向內(nèi)收縮后兩端之間的距離L(mm)與熱絲的工作長度L1(mm)之間應滿足以下關(guān)系L1=5+1.05L。本發(fā)明電極結(jié)構(gòu)簡單,制造成本低,在金剛石生長過程中熱絲始終保持平直狀態(tài),未出現(xiàn)熱絲被拉斷現(xiàn)象,襯底溫度場的均勻性得到改善,沉積的CVD金剛石膜均勻性提高。
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