摘要 名稱耐熱沖擊性高的高純硅化碳化硅公開號1329583公開日2002.01.02主分類號C04B35/565 
名稱 | 耐熱沖擊性高的高純硅化碳化硅 | ||
公開號 | 1329583 | 公開日 | 2002.01.02 |
主分類號 | C04B35/565 | 分類號 | C04B35/565;H01L21/02 |
申請?zhí)?/strong> | 99814270.0 | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1999.11.09 | |
頒證日 | 優(yōu)先權 | 1998.12.11_US_09/210,635 | |
申請人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 地址 | 美國馬薩諸塞州 |
發(fā)明人 | D·多布特;A·赫爾勒 | 國際申請 | PCT/US99/26568 1999.11.9 |
國際公布 | WO00/34203 英 2000.6.15 | 進入國家日期 | 2001.06.08 |
專利代理機構 | 上海專利商標事務所 | 代理人 | 朱黎明 |
摘要 | 本發(fā)明是一種高強度、耐熱沖擊、高純度硅化的碳化硅材料,它是由至少含71體積%碳化硅的轉化石墨碳化硅體硅化而成的。 |