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晶體組織受控生長的CVD α-Al2O3涂層的沉積、顯微結構和特性

本文研究了晶核形成對CVDAl2O3顯微結構和涂層性能的影響。實驗用α-Al2O3涂層分別按以下條件沉積:①未采用成核控制;②采用成核控制并獲得了明確的(1...

日期 2008-02-20   
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