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湖南大學尹韶輝教授等:超精密晶圓減薄砂輪及減薄磨削裝備研究進展

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在芯片制程的后道階段,通過超精密晶圓減薄工藝可以有效減小芯片封裝體積,導通電阻,改善芯片的熱擴散效率,提高其電氣性能、力學性能。目前的主流工藝通過超細粒度金剛石砂輪和高...

日期 2024-03-11   
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