上海征世科技股份有限公司(以下簡稱:征世科技)宣布成功研發(fā)出2英寸(1英寸=2.54 cm)單晶金剛石晶圓。這一重大突破標志著征世科技在單晶金剛石領域的技術(shù)已達到國際先進水平,為未來寬禁帶半導體、功率器件、量子計算等領域的應用開辟了廣闊前景。
具體參數(shù):
尺寸:2英寸
厚度:0.3~3.0 mm
熱導率:1800~2200 W/(m·K)
偏離角:(100)面偏角3°左右
氮濃度:0.2×10-6以下
2英寸單晶金剛石晶圓實物圖
單晶金剛石,被譽為“終極半導體材料”,是制造下一代高性能電子器件的理想材料。然而,由于單晶金剛石生長條件苛刻、技術(shù)難度大,大尺寸、高質(zhì)量單晶金剛石晶圓的制備一直是國際性難題。
征世科技憑借多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新精神,成功攻克了單晶金剛石晶圓制備過程中的多項關鍵技術(shù)難題,實現(xiàn)了2英寸單晶金剛石晶圓的自主可控生產(chǎn)。是征世科技發(fā)展歷程中的重要里程碑,不僅打破了國外技術(shù)壟斷,也為我國寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強有力的材料支撐。該產(chǎn)品具有晶體質(zhì)量高、缺陷密度低、表面粗糙度小等優(yōu)點,各項性能指標均達到國際先進水平。
2英寸單晶金剛石晶圓的紫外-可見光譜圖(a)和傅里葉紅外光譜圖(b)
上海征世科技股份有限公司
上海征世科技股份有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的跨國高新技術(shù)企業(yè)??茖W家團隊于2002年開啟了CVD技術(shù)研發(fā)之路。征世科技擁有專業(yè)的研發(fā)團隊,持續(xù)探索運用創(chuàng)新方法和技術(shù),已申請專利百余項,并通過ISO9001質(zhì)量管理體系認證。擁有先進的核心生產(chǎn)技術(shù)“MPCVD法”,是全球?qū)崿F(xiàn)直接生長高品質(zhì)CVD鉆石的領軍企業(yè)。
征世科技深耕MPCVD法,擁有國際領先的研發(fā)生產(chǎn)能力。征世科技的CVD鉆石高凈高色、更大克拉,純自然生長,無需改色處理。廣泛應用于珠寶首飾及工業(yè)散熱、半導體、高端電子、汽車自動駕駛等科技領域。