經(jīng)過(guò)MPCVD（微波等離子體化學(xué)氣相沉積）、激光切割、雕琢等工序，一顆顆金剛石被制作成散熱片等產(chǎn)品，成為半導(dǎo)體基體材料“新貴”。4月22日，位于荊州經(jīng)開(kāi)區(qū)的湖北瑞華科技有限公司生產(chǎn)車間里，數(shù)臺(tái)自動(dòng)化切割機(jī)并排作業(yè)，忙碌有序。

       “你看，金剛石經(jīng)過(guò)MPCVD，就像蒸饅頭一樣逐漸變大?！比鹑A科技車間主任甘俊偉說(shuō)，經(jīng)過(guò)“膨脹”的金剛石，在切割機(jī)的精細(xì)操作下，襯底與生長(zhǎng)層被巧妙地分離。生長(zhǎng)層既可以被雕琢成熠熠生輝的鉆石，也可以被切成薄片，用作高效的散熱片。分離出來(lái)的襯底可以再次用于MPCVD的生長(zhǎng)，循環(huán)利用。

       瑞華科技于2022年11月落戶荊州，是一家聚焦高端功能金剛石材料生產(chǎn)的高科技企業(yè)，力求在大尺寸、高質(zhì)量金剛石生長(zhǎng)裝備及金剛石生長(zhǎng)技術(shù)上取得重大突破，破解我國(guó)在這一領(lǐng)域的技術(shù)難題。

       今年2月，瑞華科技一期項(xiàng)目進(jìn)入試生產(chǎn)階段，首批50臺(tái)機(jī)器主要生產(chǎn)散熱片、鉆石等產(chǎn)品。

       “鉆石就是我們?cè)谑忻嫔峡吹降穆沣@，散熱片主要運(yùn)用于集成電路里面，在汽車等行業(yè)中發(fā)揮著不可或缺的作用。”甘俊偉介紹，所有的電器元件在運(yùn)行中都會(huì)產(chǎn)生熱量，隨著電路集成度的不斷提升，散熱需求也日益增長(zhǎng)。與傳統(tǒng)散熱材料相比，金剛石散熱能力更強(qiáng)，是銅的5倍，硅的10倍，未來(lái)應(yīng)用場(chǎng)景十分廣闊。

       據(jù)介紹，我國(guó)是人造金剛石生產(chǎn)大國(guó)，但產(chǎn)品主要集中在磨料磨具領(lǐng)域，高端應(yīng)用尚處于起步階段，在金剛石功能材料領(lǐng)域長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷。

       瑞華科技辦公室主任毛莉介紹，公司研發(fā)中心位于武漢，數(shù)年前率先在國(guó)內(nèi)布局第四代半導(dǎo)體材料裝備和生長(zhǎng)工藝研發(fā)，推進(jìn)我國(guó)高端金剛石的深度產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，成功研制分子束外延（MBE）和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）兩種半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)裝備與相關(guān)工藝。

       “天然金剛石材料成本較高，我們正致力于加大研發(fā)力度，優(yōu)化生產(chǎn)工藝，用MPCVD法生產(chǎn)出來(lái)的金剛石替代天然金剛石?！泵蛘f(shuō)，公司正積極與一些研究所、知名新能源汽車品牌合作，加快金剛石散熱片新材料的應(yīng)用進(jìn)程。