黃河旋風申請降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法專利,穩(wěn)定單晶金剛石籽晶與樣品生長臺之間的傳熱
關鍵詞 黃河旋風|2024-03-04 09:10:56|來源 金融界
摘要 金融界2024年3月4日消息,據(jù)國家知識產(chǎn)權局公告,河南黃河旋風股份有限公司申請一項名為“降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法“,公開號CN117626421A,申請日期為20...
金融界2024年3月4日消息,據(jù)國家知識產(chǎn)權局公告,河南黃河旋風股份有限公司申請一項名為“降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法“,公開號CN117626421A,申請日期為2023年12月。
專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法,包括以下步驟:(1)清洗單晶金剛石籽晶及銅箔組件;(2)將單晶金剛石籽晶非生長面進行刻蝕處理;(3)在單晶金剛石籽晶刻蝕面表面鍍覆金屬Mo層;(4)等離子表面碳化處理生成金屬碳化物層;(5)將處理后的單晶金剛石籽晶與金屬銅箔對齊高溫固化,利用化學氣相沉積爐進行焊接并完成鍵合;(6)通過生長獲得低應力單晶金剛石。本發(fā)明旨在穩(wěn)定單晶金剛石籽晶與樣品生長臺之間的傳熱,減少單晶金剛石表面生長溫度梯度,降低CVD單晶金剛石生長過程中的應力累積。
① 凡本網(wǎng)注明"來源:超硬材料網(wǎng)"的所有作品,均為河南遠發(fā)信息技術有限公司合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內(nèi)使用,并注明"來源:超硬材料網(wǎng)"。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
② 凡本網(wǎng)注明"來源:XXX(非超硬材料網(wǎng))"的作品,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責。
③ 如因作品內(nèi)容、版權和其它問題需要同本網(wǎng)聯(lián)系的,請在30日內(nèi)進行。
※ 聯(lián)系電話:0371-67667020