近日,北京清碳科技有限公司MPCVD金剛石工藝實驗室示范線首爐批量工藝金剛石單晶毛石順利出爐,晶體成品率達百分之百,單顆5-10克拉。
金剛石半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)基地項目為清華大學(xué)科技成果轉(zhuǎn)化項目,由北京清碳科技有限公司運營。項目總投資1.1億元,一期投資1000萬元,在中關(guān)村順義園建設(shè)MPCVD單晶金剛石工藝實驗室,開展超純單晶MPCVD大裝備攻關(guān)以及電子級金剛石的規(guī)模工藝研發(fā)。
近日,北京清碳科技有限公司MPCVD金剛石工藝實驗室示范線首爐批量工藝金剛石單晶毛石順利出爐,晶體成品率達百分之百,單顆5-10克拉。
金剛石半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)基地項目為清華大學(xué)科技成果轉(zhuǎn)化項目,由北京清碳科技有限公司運營。項目總投資1.1億元,一期投資1000萬元,在中關(guān)村順義園建設(shè)MPCVD單晶金剛石工藝實驗室,開展超純單晶MPCVD大裝備攻關(guān)以及電子級金剛石的規(guī)模工藝研發(fā)。
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