6月3日，深圳市科技創(chuàng)新委員會發(fā)布關(guān)于2020年第一批技術(shù)攻關(guān)重點項目（智能裝備專項）申請指南的通知。中國超硬材料網(wǎng)記者從申報指南中獲悉，深圳實施技術(shù)攻關(guān)重點項目旨在增強深圳高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)核心競爭力，提升產(chǎn)業(yè)整體自主創(chuàng)新能力，突破關(guān)鍵零部件等產(chǎn)業(yè)發(fā)展共性關(guān)鍵技術(shù)。對深圳市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)重點領(lǐng)域、優(yōu)先主題、重點專項的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)予以資助，單個項目資助強度最高不超過1000萬元。

       通過梳理發(fā)現(xiàn)，金剛石刀具刃磨質(zhì)量在線監(jiān)測系統(tǒng)研發(fā)、半導(dǎo)體大尺寸硅片邊緣精密拋光機的研發(fā)、半導(dǎo)體高精度刀輪切割機關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)等超硬材料項目成為重點攻關(guān)目標(biāo)。

       據(jù)了解，此次網(wǎng)上申報受理時間從6月5日持續(xù)至6月30日，申報單位申報時需在深圳市科技業(yè)務(wù)管理系統(tǒng)完成提交。
申報技術(shù)攻關(guān)重點項目資助的牽頭單位應(yīng)當(dāng)是在深圳市(含深汕特別合作區(qū))內(nèi)依法注冊、具有獨立法人資格，且2019年度營業(yè)收入在2000萬元以上(含2000萬元)的國家或深圳市高新技術(shù)企業(yè)、技術(shù)先進型服務(wù)企業(yè)。
       對于采用聯(lián)合申報方式的申請者，鼓勵產(chǎn)學(xué)研用合作攻關(guān)，牽頭單位2019年度營業(yè)收入不足1億的，參與單位應(yīng)有1家企業(yè)2019年度營業(yè)收入在1億以上(含1億元)。國內(nèi)(含港澳)具有獨立法人資格的高校、科研機構(gòu)和企業(yè)可作為合作單位參與項目。
       其中超硬材料項目及研發(fā)內(nèi)容、指標(biāo)如下：

       高精度金剛石工具磨床關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

       一、主要研發(fā)內(nèi)容

       （一）金剛石刀具刃磨機理與加工工藝優(yōu)化； 

       （二）高精度空氣靜壓磨床主軸研發(fā)；

       （三）高精度氣浮回轉(zhuǎn)工作臺研發(fā)； 

       （四）金剛石刀具刃磨質(zhì)量在線監(jiān)測系統(tǒng)研發(fā)。
       二、項目考核指標(biāo)（項目執(zhí)行期內(nèi)）

       （一）經(jīng)濟指標(biāo)：實現(xiàn)銷售收入（或量產(chǎn)應(yīng)用）≥2000萬 元。

       （二）學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

       （三）技術(shù)指標(biāo)：

       1.砂輪主軸組件：

       （1）最高轉(zhuǎn)速≥10000rpm，支持雙向旋轉(zhuǎn)與無級調(diào)速；

       （2）端面跳動≤0.5μm；

       （3）徑向跳動≤0.5μm；

       （4）可搭載砂輪直徑≥150mm。

       2.旋轉(zhuǎn)工作臺組件：

       （1）端面跳動≤0.1μm；

       （2）徑向跳動≤0.1μm；

       （3）回轉(zhuǎn)定位精度≤0.001rad；

       （4）直線進給精度≤1μm；

       （5）恒力進給機構(gòu):0-450N。

       3.刀具及缺陷檢測指標(biāo)：

       （1）刀具加工面粗糙度Ra≤0.02μm；

       （2）刀具刃口崩缺≤0.1μm；

       （3）刀具缺陷檢出率≥90%；

       （4）刀具缺陷檢出時間≤3秒。
       三、項目實施期限：3年

       四、資助金額：不超過1000萬元

       半導(dǎo)體大尺寸硅片邊緣精密拋光機的研發(fā)

       一、主要研發(fā)內(nèi)容 

       （一）超聲波輔助邊緣拋光裝置的研發(fā)；

       （二）拋光鼓加壓系統(tǒng)設(shè)計與壓力精確控制；

       （三）拋光系統(tǒng)硅片邊緣的拋光工藝研究； 

       （四）硅片自動上下料機器人系統(tǒng)的研發(fā)。 
       二、項目考核指標(biāo)（項目執(zhí)行期內(nèi)）

        （一）經(jīng)濟指標(biāo)：實現(xiàn)銷售收入（或量產(chǎn)應(yīng)用）≥2000萬 元。 

       （二）學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

        （三）技術(shù)指標(biāo)：

        1.適用硅片尺寸：直徑200mm(8寸)和300mm(12寸)；

        2.每小時產(chǎn)量：單機≥50片；

        3.拋光時間≤30秒，加持對位時間≤32秒；

        4.邊緣加工后粗糙度要求（1 ANG= 0.1 nm）：

       （1）A-CF(上斜面)≤4.77 ANG； 

       （2）B-CF（下斜面）≤3.71 ANG；

       （3）TOP（正側(cè)面）≤5.57 ANG。 
       三、項目實施期限：3年

       四、資助金額：不超過1000萬元

       半導(dǎo)體高精度刀輪切割機關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

       一、主要研發(fā)內(nèi)容 

       （一）高速氣浮電主軸研發(fā)與靜動態(tài)性能研究；

       （二）高速高精度多維平臺和快速響應(yīng)硬件系統(tǒng)研發(fā)；

       （三）高速刀輪切割工藝參數(shù)的優(yōu)化與配置研究；

       （四）刀輪機視覺檢測系統(tǒng)開發(fā)與檢測算法研究。
       二、項目考核指標(biāo)（項目執(zhí)行期內(nèi)）

       （一）經(jīng)濟指標(biāo)：實現(xiàn)銷售收入（或量產(chǎn)應(yīng)用）≥2000萬 元。

       （二）學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

       （三）技術(shù)指標(biāo)：

       1.主軸最大轉(zhuǎn)速≥30000rpm；

       2.裸軸振動≤0.1mm/s @30000rpm；

       3.行程：X/Y1/Y2/Z/θ軸 為 650mm/550mm/550mm/30mm/380°；

       4.重復(fù)性：Y/Z軸≤1μm，θ軸≤3 arcsec；

       5.直線度：X軸≤2μm；

       6.檢測指標(biāo)：

       （1）刀破檢測范圍≥0.5mm；

       （2）測高精度≤2μm；

       （3）崩邊檢出≥5μm；

       （4）飛拍檢測≥400mm/s。
       三、項目實施期限：3年

       四、資助金額：不超過1000萬元
       原文鏈接：http://stic.sz.gov.cn/xxgk/tzgg/content/post_7724163.html