摘要 綜合多方消息,日本TOP精工(TOPSEIKO)是一家頗受好評、專門切削“既硬又脆”難加工材料的企業(yè),該公司加工的材料包括氧化鋁(Al2O3)、碳化硅(Si...
綜合多方消息,日本TOP精工(TOP SEIKO)是一家頗受好評、專門切削“既硬又脆”難加工材料的企業(yè),該公司加工的材料包括氧化鋁(Al2O3)、碳化硅(SiC)等
陶瓷材料,以及金屬中比較硬又很脆的純鎢(W)及純鉬(Mo)等材料。該公司加工的量產(chǎn)品方面,陶瓷類有用于半導體制造裝置的晶圓吸附板,及用于CVD(化學氣相沉積)裝置的簇射極板等,金屬類有處理輻射和X光的工業(yè)用和醫(yī)用檢查裝置的金屬零部件等。該公司能在短時間內(nèi)實現(xiàn)難加工材料的高精度加工。
例如,TOP精工加工用于半導體制造裝置的SiC吸附板是直徑290mm、厚10mm的圓盤狀部件,表面有10條同心圓形狀的溝槽(寬1mm)。而且,SiC的維氏硬度非常高,是Al2O3的1.3倍。用加工中心(MC)切削這么難切削的材料時,一般會使用在超硬合金上涂有
金剛石的極細高剛性
鉆頭。這種極細鉆頭雖然剛性很高,但不耐用。因此,TOP精工研究出了既可使
刀具經(jīng)久耐用又能在短時間內(nèi)切削出溝槽的方法,關(guān)鍵在于自制工具。該公司自制了有開孔的圓盤狀部件的底部配備兩個長方形(寬度為800μm)金剛石片的刀具。使這種刀具在MC上旋轉(zhuǎn),就能在工件上切削出圓形溝槽。
除陶瓷外,TOP精工還加工W、Mo等金屬。在這些金屬加工中,也經(jīng)常采用不同尋常的方法,比如,在用棒料進給器向NC車床供應Mo棒的同時,一次以數(shù)百個為單位加工,實現(xiàn)這樣的加工靠的是自制刀具,通過延長刀具壽命實現(xiàn)了Mo工件40~50小時的無人加工。此外還有不用卡盤夾住W板材、而用粘合劑將其固定在夾具上加工的方法,這種方法可以不剩下卡盤夾持的部分,將整個板材當做母材使用。
據(jù)介紹,TOP精工能在短時間內(nèi)實現(xiàn)高難度加工作業(yè),除了該公司積累了12年的加工經(jīng)驗外,在遇到很難的加工作業(yè)時,通常都是經(jīng)營者與現(xiàn)場所有工作人員一起反復嘗試“循環(huán)”。這個循環(huán)就是:第一,觀察加工前、中、后的現(xiàn)象;第二,根據(jù)觀察的結(jié)果做出假設;第三,通過實際加工驗證假設。通過反復觀察、反復試驗,使得該公司能創(chuàng)造出一些有悖于常識的加工方法。
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