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用類金剛石碳鍍覆刃口的方法

關(guān)鍵詞 類金剛石 , 碳鍍 , 覆刃口 |2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱用類金剛石碳鍍覆刃口的方法公開號(hào)1260843公開日2000.07.19主分類號(hào)C23C16/26

 

名稱 用類金剛石碳鍍覆刃口的方法 
公開號(hào) 1260843  公開日 2000.07.19   
主分類號(hào) C23C16/26  分類號(hào) C23C16/26 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 98806296.8 
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 1998.06.11   
頒證日   優(yōu)先權(quán) [32]1997.6.18[33]US[31]08/878,222 
申請(qǐng)人 東北大學(xué)    地址 美國馬薩諸塞  
發(fā)明人 J·A·霍普伍德; D·L·帕帕斯    國際申請(qǐng) PCT.US98/12270 1998.6.11 
國際公布 WO98.58097 英 1998.12.23  進(jìn)入國家日期 1999.12.16  
專利代理機(jī)構(gòu) 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所    代理人 段承恩   
摘要   本發(fā)明涉及在基體(22)上形成類金剛石碳膜的方法,包括的步驟為:將所述基體暴露在一種烴類氣體環(huán)境中,并且,在所述環(huán)境中,在高離子通量和可控的、低離子能量轟擊的條件下,產(chǎn)生電子密度大于約5×10#+[10]/cm#+[3]和覆層厚度小于約2mm的等離子體。而且,本發(fā)明還涉及一種制成品,它包括:具有一個(gè)表面的基體和在所述表面上的類金剛石碳膜,其中所述膜的硬度高于約20GPa,而且,在采用場發(fā)射掃描電子顯微鏡,在50,000X的放大倍數(shù)下觀察時(shí),所述膜中不存在可分辨的直徑等于或大于300A的晶?! ?/td>
 

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