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官方微信摘要 名稱(chēng)陰極電弧蒸鍍方式淀積類(lèi)金剛石碳膜的制備方法公開(kāi)號(hào)1289861公開(kāi)日2001.04.04主分類(lèi)號(hào)C23C16/2
| 名稱(chēng) | 陰極電弧蒸鍍方式淀積類(lèi)金剛石碳膜的制備方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1289861 | 公開(kāi)日 | 2001.04.04 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C16/27 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/27 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 99119465.9 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1999.09.29 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 永源科技股份有限公司 | 地址 | 臺(tái)灣省臺(tái)中市 |
| 發(fā)明人 | 汪大永 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 袁炳澤;余朦 |
| 摘要 | 本發(fā)明采用陰極電弧蒸鍍方式淀積類(lèi)金剛石碳膜的制備方法，是利用CAE金屬離子的高離子能量激發(fā)真空室中烴類(lèi)氣體的裂解反應(yīng)而淀積高硬度、高潤(rùn)滑性的類(lèi)金剛石碳膜，該碳膜由于內(nèi)含金屬成分而具有良好的韌性，另外淀積類(lèi)金剛石碳膜之前可借助于同一金屬弧源以CAE制備工藝先淀積一層或多層的金屬、金屬氮化物或金屬碳化物中介層以強(qiáng)化類(lèi)金剛石碳膜的附著性，再通過(guò)烴類(lèi)氣體與金屬弧源等離子體產(chǎn)生烴類(lèi)氣體的裂解反應(yīng)而淀積類(lèi)金剛石碳膜 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)