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制備類(lèi)金剛石薄膜的電化學(xué)沉積方法及其裝置

關(guān)鍵詞 制備 , 類(lèi)金剛石薄膜 , 電化學(xué) , 沉積|2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專(zhuān)利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱(chēng)制備類(lèi)金剛石薄膜的電化學(xué)沉積方法及其裝置公開(kāi)號(hào)1205367公開(kāi)日1999.01.20主分類(lèi)號(hào)C25D9/08&

 

名稱(chēng) 制備類(lèi)金剛石薄膜的電化學(xué)沉積方法及其裝置 
公開(kāi)號(hào) 1205367  公開(kāi)日 1999.01.20   
主分類(lèi)號(hào) C25D9/08  分類(lèi)號(hào) C25D9/08 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 97111993.7   
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 1997.07.10   
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請(qǐng)人 北京理工大學(xué)    地址 100081北京市海淀區(qū)白石橋路7號(hào)  
發(fā)明人 汪浩; 朱鶴孫    國(guó)際申請(qǐng)  
國(guó)際公布   進(jìn)入國(guó)家日期  
專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) 北京理工大學(xué)專(zhuān)利事務(wù)所    代理人 付雷杰   
摘要   一種類(lèi)金剛石薄膜的新制備方法,采用電化學(xué)沉積技術(shù),以高頻脈沖調(diào)制直流高壓電源提供能量,選擇甲醇作為電沉積溶液,在液相中制備出了類(lèi)金剛石薄膜。這種薄膜是不含氫的具有非晶結(jié)構(gòu)的類(lèi)金剛石碳膜,具有一定的耐化學(xué)腐蝕能力,其電阻率在10#+[7]Ω.cm量級(jí),顯微硬度在12~15GPa之間。由于該方法具有沉積溫度低,成膜均勻性好,反應(yīng)條件容易控制,設(shè)備簡(jiǎn)單的特點(diǎn),因此有很好的應(yīng)用前景 
 

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