名稱 | 金剛石紅外增透保護(hù)薄膜及制備工藝 | ||
公開號(hào) | 1094455 | 公開日 | 1994.11.02 |
主分類號(hào) | C23C16/26 | 分類號(hào) | C23C16/26 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 93112643.6 | ||
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1993.12.30 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
申請(qǐng)人 | 復(fù)旦大學(xué) | 地址 | 200433上海市邯鄲路220號(hào) |
發(fā)明人 | 沈元華; 應(yīng)萱同 | 國際申請(qǐng) | |
國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
專利代理機(jī)構(gòu) | 復(fù)旦大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人 | 陸飛 |
摘要 | 用人工化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備的金剛石多晶薄膜可以作為紅外增 透保護(hù)膜,其硬度為6000~10000kg/mm#+[2],不怕酸、堿腐蝕,大氣中耐溫500℃以上,可在惡劣環(huán)境條件下使用。該膜采用基板超聲預(yù)處理,在優(yōu)化工藝條件下人工化學(xué)氣相沉積等技術(shù)措施制備。本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于冶金、化工、航天航空、軍事等工業(yè)和科研領(lǐng)域,如工業(yè)生產(chǎn)線上的紅外在線探測(cè)、戰(zhàn)地及野外環(huán)境中的紅外夜視儀等??商岣邇x器的靈敏度、頻率選擇性及穩(wěn)定性等,并能大幅度地延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 |