申請?zhí)? 201721069584.3    

申請日: 2017.08.25

申請人: 西安碳星半導體科技有限公司

發(fā)明人: 碳星; 藺鋼; 李升

       摘要： 

       本實用新型公開了一種利用激光加工CVD金剛石的設備，包括底座，底座上設有第一滑槽，第一滑槽的前端側(cè)壁上設有內(nèi)外連通的通孔，且通孔內(nèi)貫穿設有轉(zhuǎn)動桿，轉(zhuǎn)動桿位于第一滑槽內(nèi)的一端上固定套接有第一渦輪，第一滑槽的底部轉(zhuǎn)動連接有第一蝸桿，且第一蝸桿與第一渦輪嚙合，第一蝸桿上固定套接有第一齒輪，且第一齒輪位于第一渦輪的下方，第一滑槽的底部轉(zhuǎn)動連接有兩根第二蝸桿，且兩根第二蝸桿分別位于第一蝸桿左右兩端的第一滑槽底部上，兩根第二蝸桿上固定套接有第二齒輪，且第二齒輪與第一齒輪嚙合，第一滑槽內(nèi)設有兩個第一滑塊。本實用新型能有效的檢測打磨后的CVD金剛石制品平整度，確保了CVD金剛石制品的精確度。

       主權(quán)利要求:

       一種利用激光加工CVD金剛石的設備，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上設有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)的前端側(cè)壁上設有內(nèi)外連通的通孔，且通孔內(nèi)貫穿設有轉(zhuǎn)動桿(3)，所述轉(zhuǎn)動桿(3)位于第一滑槽(2)內(nèi)的一端上固定套接有第一渦輪(4)，所述第一滑槽(2)的底部轉(zhuǎn)動連接有第一蝸桿(5)，且第一蝸桿(5)與第一渦輪(4)嚙合，所述第一蝸桿(5)上固定套接有第一齒輪(6)，且第一齒輪(6)位于第一渦輪(4)的下方，所述第一滑槽(2)的底部轉(zhuǎn)動連接有兩根第二蝸桿(7)，且兩根第二蝸桿(7)分別位于第一蝸桿(5)左右兩端的第一滑槽(2)底部上，兩根所述第二蝸桿(7)上固定套接有第二齒輪(8)，且第二齒輪(8)與第一齒輪(6)嚙合，所述第一滑槽(2)內(nèi)設有兩個第一滑塊(9)，兩個所述第一滑塊(9)的側(cè)壁上均設有左右連通的第一螺紋孔，且第一螺紋孔內(nèi)螺紋連接有第一螺紋桿(10)，所述第一螺紋桿(10)靠近第一齒輪(6)的一端連接有第二渦輪(11)，且第二渦輪(11)與第二蝸桿(7)嚙合，所述第一螺紋桿(10)遠離第二渦輪(11)的一端與第一滑槽(2)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接，兩個所述第一滑塊(9)的上端均連接有固定桿(12)，兩根所述固定桿(12)的相對側(cè)壁上均連接有固定板(13)，所述底座(1)的上端設有龍門支架(14)，且龍門支架(14)由一根橫桿和兩根豎桿組成，所述龍門支架(14)橫桿的下端連接有液壓缸(15)，且液壓缸(15)的活塞桿豎直朝下設置，所述液壓缸(15)的活塞桿下端連接有連接板(16)，所述連接板(16)的下端面設有第二滑槽(17)，所述第一滑槽(17)內(nèi)設有兩塊第二滑塊(18)，所述第二滑槽(17)的前后側(cè)壁上均設有內(nèi)外連通的第二螺紋孔，且第二螺紋孔內(nèi)螺紋連接有第二螺紋桿(19)，兩根所述第二螺紋桿(19)位于第二滑槽(17)內(nèi)的一端分別與兩塊第二滑塊(18)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接，其中一個所述第二滑塊(18)的下端連接有打磨裝置(20)，另一個所述第二滑塊(18)的下端連接有測試桿(21)，所述測試桿(21)的下端連接有光感應器(22)，所述測試桿(21)遠離光感應器(22)的一端連接有激光發(fā)射器(23)。