申請?zhí)枺?01710557953.1
       申請人：楊凌美暢新材料有限公司
       發(fā)明人：曲東升 王新平 曹民博

       摘要： 本發(fā)明提供了本發(fā)明提供一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，包括以下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述切割由切割機(jī)架帶動硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動，同時(shí)主輥帶動電鍍金剛線網(wǎng)作往復(fù)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)切割，切割過程中，電鍍金剛線的線速度為1300?1500m/min，工件切割速度為1?4.5mm/min，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒鍍層厚度為3?5um，切割過程中，電鍍金剛線采用先正向進(jìn)給后反向進(jìn)給的方式，每個(gè)工件開始加工時(shí)，先向收線輪進(jìn)給3?5km電鍍金剛線。采用本發(fā)明切割方法能夠在1h以內(nèi)完成對8.4inch、650mm晶體硅棒的順利切割，解決了現(xiàn)有技術(shù)中電鍍金剛線切割硅片效率低的問題。        主權(quán)利要求：1.一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，包括如下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述步驟（1）粘棒：將燕尾與樹脂板、樹脂板與硅棒用粘膠粘接；所述步驟（2）上料：將步驟（1）中粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機(jī)；所述步驟（3）配制切割液：將切割液、消泡劑、水按照質(zhì)量比為1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均勻后，倒入切割液缸中；所述步驟（4）切割：所述切割由切割機(jī)架帶動硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動，同時(shí)主輥帶動電鍍金剛線網(wǎng)作往復(fù)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)切割，切割過程中，電鍍金剛線的線速度為1300-1500m/min，工件切割速度為1-4.5mm/min，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒鍍層厚度為3-5um，切割過程中，電鍍金剛線采用先正向進(jìn)給后反向進(jìn)給的方式，每個(gè)工件開始加工時(shí)，先向收線輪進(jìn)給3-5km電鍍金剛線。
       2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線上金剛石鍍層厚度為2-4um。
       3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述工件切割速度分為三部分：進(jìn)刀切割速度為1.5-3.5mm/min，主切割速度為3-4.5mm/min，出刀切割速度為1.0-1.5mm/min。
       4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述工件切割速度分為三部分：進(jìn)刀切割速度為1.5mm/min；主切割速度為3mm/min；出刀切割速度為1.5mm/min。
       5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述先正向進(jìn)給后反向進(jìn)給的方式為電鍍金剛線以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，當(dāng)電鍍金剛線切入工件位置100~140mm后，電鍍金剛線又以往復(fù)切割方式從主輥的末端向著頭端行走，所述每個(gè)往復(fù)過程電鍍金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進(jìn)，所述正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量≥反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量。
       6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，正向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給量90-120m/min，每個(gè)循環(huán)中新線供給600-700m，舊線返回500-600m。
       7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，反向進(jìn)給切割時(shí)，舊線供給量130-200m/min，每個(gè)循環(huán)中新線供給500-700m，舊線返回700-850m。
       8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，正向進(jìn)給切割與反向進(jìn)給切割交接的切深位置按照程序切割位置劃分，位置選為切割深度100-140mm，所述程序切割位置是指總的切割深度，為161-168mm。
       9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述步驟（4）切割過程中，切割設(shè)備中采用直徑為70-80um的電鍍金剛線作為切割線，電鍍金剛線的破斷張力為16-23N，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度300-450顆/mm，金剛石顆粒直徑為5-16um，金剛石顆粒出刃高度為4-7um，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為11-14N，切割液溫度為18-20℃。
       10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述步驟（6）中脫膠是將切割后的硅片浸泡在熱水或草酸或乳酸溶液中進(jìn)行脫膠。