申請?zhí)? 201610920894.5
申請日: 2016.10.21
國家/省市: 中國上海(31)
公開號: 106544641A
公開日: 2017.03.29 主分類號: C23C 16/27(2006.01)
授權(quán)公告號: 授權(quán)公告日: 分類號: C23C 16/27(2006.01); C23C 16/02(2006.01)
申請人: 上海交通大學(xué); 上海交閔精密耐磨器件有限公司
發(fā)明人: 申笑天; 孫方宏; 王新昶; 郭松壽; 張文驊; 郭睿
代理人: 郭國中 陳少凌
代理機構(gòu): 上海漢聲知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司(31236)
申請人地址: 上海市閔行區(qū)東川路800號

摘要： 本發(fā)明涉及一種制備硬質(zhì)合金基體金剛石涂層的噴砂預(yù)處理方法；該方法針對硬質(zhì)合金基體；首先，采用噴砂技術(shù)對硬質(zhì)合金基體表面進行沖蝕粗化，然后采用酸處理以對基體進行脫鈷，制備出適合金剛石薄膜生長的均勻粗化的表面形貌。本發(fā)明涉及的預(yù)處理方法與常規(guī)酸堿兩步法預(yù)處理相比，可以有效控制硬質(zhì)合金基體表面粗糙度，極大提高金剛石涂層沉積初期的形核密度，并且在預(yù)處理后不會形成疏松層，有效提高了金剛石涂層與基體的附著力。該預(yù)處理方法不受基體形狀的限制，適用于復(fù)雜形狀硬質(zhì)合金基體的金剛石涂層制備，且操作簡單、應(yīng)用方便，生產(chǎn)效率高、無污染，產(chǎn)業(yè)化前景光明，因而具有顯著地經(jīng)濟效益。 

主權(quán)利要求
1.一種制備硬質(zhì)合金基體金剛石涂層的預(yù)處理方法，其特征在于，所述方法包括噴砂處理和酸處理步驟；所述噴砂處理為：采用噴砂設(shè)備，以石英砂高壓氣流為介質(zhì)對硬質(zhì)合金基體進行沖蝕粗化；所述酸處理為:將經(jīng)過噴砂處理的硬質(zhì)合金基體浸泡在Caro混合酸溶液中進行刻蝕。