申請?zhí)枺?01620932071.X
　　申請人：中國科學院金屬研究所
　　發(fā)明人：姜辛 劉魯生 黃楠 楊兵 翟超峰 李俊豪 賈心怡

　　摘要： 本實用新型涉及金剛石膜生長領域，尤其涉及一種在工件內孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學氣相沉積裝置。該裝置設有密閉的反應腔體，反應腔體的一端設有氣體噴淋頭，氣體噴淋頭通過管路與外部氣源連接，反應腔體的另一端設有抽真空系統和真空測控系統；反應腔體內部設有中空的水冷樣品臺，水冷樣品臺的中空部分向內依次設有絕緣層、導電層、工件、熱絲。本實用新型可以實現在工件內孔快速、均勻沉積金剛石薄膜，減少反應氣體的消耗，沉積過程中能測控熱絲的溫度、工件表面的溫度和反應腔內的壓強，能準確控制金剛石薄膜沉積各項主要工藝參數，工藝重復性好。 　　主權利要求：1.一種在工件內孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學氣相沉積裝置，其特征在于，該裝置設有密閉的反應腔體，反應腔體的一端設有氣體噴淋頭，氣體噴淋頭通過管路與外部氣源連接，反應腔體的另一端設有抽真空系統和真空測控系統；反應腔體內部設有中空的水冷樣品臺，水冷樣品臺的中空部分向內依次設有絕緣層、導電層、工件、熱絲。