申請?zhí)枺?01620008436.X
　　申請人：濟南中烏新材料有限公司 山東貝斯特環(huán)境技術(shù)有限公司
　　發(fā)明人：王盛林 王篤福 王希江 王希瑋 徐昌

　　摘要：一種金剛石單晶生長腔體溫度的控制裝置，包括控制器、電流測量模塊、電壓測量模塊、變壓器和可控硅調(diào)壓器，可控硅調(diào)壓器一方面與電源連接，一方面與變壓器的初級側(cè)連接，變壓器的初級側(cè)和次級側(cè)均連接有電流測量模塊和電壓測量模塊，可控硅調(diào)壓器、電流測量模塊和電壓測量模塊均與控制器連接。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠?qū)崟r精確控制，采用了兩級PID運算，根據(jù)變壓器次級側(cè)反饋值進行的PID運算為主PID值，根據(jù)初級側(cè)反饋值進行的PID運算為次PID值，次PID對主PID進行微調(diào)后輸出至可控硅調(diào)壓器，可控硅調(diào)壓器根據(jù)接收到的控制器控制電壓/電流輸出相應(yīng)的電壓，從而實現(xiàn)金剛石晶體生長腔體的電壓或功率的實時控制。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石單晶生長腔體溫度控制裝置，包括控制器、電流測量模塊、電壓測量模塊、變壓器和可控硅調(diào)壓器，其特征是：可控硅調(diào)壓器一方面與電源連接，一方面與變壓器的初級側(cè)連接，變壓器的初級側(cè)和次級側(cè)均連接有電流測量模塊和電壓測量模塊，可控硅調(diào)壓器、電流測量模塊和電壓測量模塊均與控制器連接。