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一種金剛石表面鍍碳化鈦的制作方法

關(guān)鍵詞 碳化鈦 , 金剛石 , 表面鍍|2015-08-20 09:10:42|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 申請?zhí)枺?01510132723.1申請人:河南黃河旋風(fēng)股份有限公司發(fā)明人:劉建設(shè)郭松孟為民曹河周劉拾霞劉超超王飛山摘要:本發(fā)明涉及金剛石表面處理技術(shù)領(lǐng)域,是一種金剛石表面鍍碳化鈦...
  申請?zhí)枺?01510132723.1
  申請人:河南黃河旋風(fēng)股份有限公司
  發(fā)明人:劉建設(shè) 郭松 孟為民 曹河周 劉拾霞 劉超超 王飛山

  摘要:本發(fā)明涉及金剛石表面處理技術(shù)領(lǐng)域,是一種金剛石表面鍍碳化鈦的制作方法,它包括以下步驟:a、抽真空,首先將金剛石置于真空離子鍍膜機的鍍膜室中,將鍍膜室抽真空至3×10-3Pa以下;b、金剛石表面清潔,要求電壓:390-410V、直流電流:1.2-1.4A、真空度:3*10-2Pa、離子源:4.8-5.2KV離子源、偏轉(zhuǎn)電壓:90-110V、時間:5-10分鐘;c、金剛石表面鍍膜,陰極:鈦金屬材料(純度為99.99%)等,這樣的方法具有金剛石碳化鈦鍍膜容易實現(xiàn)、鍍膜穩(wěn)定、鍍膜堅實的優(yōu)點。

  主權(quán)利要求:1.一種金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法,它在金剛石真空鍍膜機中進行,它包括以下步驟:a、抽真空首先將金剛石置于真空離子鍍膜機的鍍膜室中,將鍍膜室抽真空至3×10-3Pa以下;b、金剛石表面清潔電壓:390—410V直流電流:1.2-1.4A真空度:3*10-2Pa離子源:4.8—5.2KV離子源偏轉(zhuǎn)電壓:90—110V時間:5-10分鐘c、金剛石表面鍍膜陰極:鈦金屬材料(純度為99.99%)陽極極:金剛石粉體電壓:440—460V脈沖電流:0.8A-1.0A乙炔流量:5-6sccm偏轉(zhuǎn)電壓:180-220V高純氬氣流量:15sccm工作時間:180分鐘—200分鐘溫度:溫度280——320℃移動方式:金剛石粉移動經(jīng)過上述步驟處理后可以得到表面具有樹脂膜結(jié)構(gòu)金剛石。
  2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法,其特征是:步驟b中的電壓是400V,直流電流是1.3A,離子源是 5. KV離子源,偏轉(zhuǎn)電壓:100V。
  3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法,其特征是:步驟c中電壓是450V,脈沖電是0.9A,偏轉(zhuǎn)電壓是200V,溫度是300℃。
 

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