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摻氮納米金剛石薄膜的制備方法

關(guān)鍵詞 納米 , 金剛石 , 摻氮 , 薄膜|2012-06-04 11:26:12|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 專利號:201010277501申請人:西南科技大學(xué)技術(shù)簡要說明:本發(fā)明是摻氮納米金剛石薄膜的制備方法。包括:a、以硝基苯甲醛、C60、氨基酸為原料,合

       專利號:201010277501

       申請人:西南科技大學(xué)

       技術(shù)簡要說明:本發(fā)明是摻氮納米金剛石薄膜的制備方法。包括:a、以硝基苯甲醛、C60、氨基酸為原料,合成得到C60含氮衍生物;b、將C60含氮衍生物溶入甲苯中形成甲苯溶液,放入液態(tài)源容器中;c、將單晶硅基片放入微波等離子體反應(yīng)腔中的樣品臺上,開啟微波發(fā)生器,并向液態(tài)源容器通入氬氣,通過液體鼓泡法用氬氣將C60含N衍生物分子載入反應(yīng)腔中并在微波能激勵下共同形成等離子體金剛石薄膜。本發(fā)明生成的摻氮納米金剛石薄膜電子電導(dǎo)率大,最高達(dá)1.31×102Ω-1cm-1,遷移率也較高,對應(yīng)電導(dǎo)率最大值時可到22cm2/V·s。本發(fā)明制備高電導(dǎo)率n型金剛石膜方法簡便,實施容易。

 

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