高溫應(yīng)用碳化硅場效應(yīng)晶體管及其使用和制造方法
關(guān)鍵詞 碳化硅場效應(yīng)晶體管|2010-12-24 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱高溫應(yīng)用碳化硅場效應(yīng)晶體管及其使用和制造方法公開號1347570公開日2002.05.01主分類號H01L29/
名稱 |
高溫應(yīng)用碳化硅場效應(yīng)晶體管及其使用和制造方法 |
公開號 |
1347570 |
公開日 |
2002.05.01 |
主分類號 |
H01L29/78 |
分類號 |
H01L29/78;H01L29/24;H01L21/336 |
申請?zhí)?/strong> |
00806545.4 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
|
申請日 |
2000.04.20 |
頒證日 |
|
優(yōu)先權(quán) |
1999.4.22__SE_9901440-9 |
申請人 |
阿克里奧股份公司 |
地址 |
瑞典基斯塔 |
發(fā)明人 |
安德瑞·康斯坦特諾夫;克里斯托弗·哈里斯;蘇珊·薩維 |
國際申請 |
PCT/SE00/00773 2000.4.20 |
國際公布 |
WO00/65660 英 2000.11.2 |
進(jìn)入國家日期 |
2001.10.22 |
專利代理機(jī)構(gòu) |
中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 |
代理人 |
王永剛 |
摘要 |
用于高溫應(yīng)用的SiC場效應(yīng)晶體管具有與其中設(shè)置了柵極(12)的前表面(14)垂直分開的源區(qū)層(4)、漏區(qū)層(5)和溝道區(qū)層(6、7),在晶體管工作時用于減小所述前表面的電場,在作為氣體傳感器工作情況下,容許除了柵極以外的所有電極被保護(hù)而不暴露于氣氛。 |
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