半絕緣碳化硅基底上基于氮化物的晶體管
關(guān)鍵詞 氮化物 , 晶體管 |2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱半絕緣碳化硅基底上基于氮化物的晶體管公開號1309816公開日2001.08.22主分類號H01L29/778&
名稱 |
半絕緣碳化硅基底上基于氮化物的晶體管 |
公開號 |
1309816 |
公開日 |
2001.08.22 |
主分類號 |
H01L29/778 |
分類號 |
H01L29/778 |
申請?zhí)?/strong> |
99808532.4 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
|
申請日 |
1999.06.02 |
頒證日 |
|
優(yōu)先權(quán) |
1998.6.12 US 09/096,967 |
申請人 |
克里公司 |
地址 |
美國北卡羅萊納 |
發(fā)明人 |
斯科特·T·謝帕德;斯科特·T·阿倫;約翰·W·帕爾莫 |
國際申請 |
PCT/US99/12287 1999.6.2 |
國際公布 |
WO00/04587 英 2000.1.27 |
進入國家日期 |
2001.01.11 |
專利代理機構(gòu) |
中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 |
代理人 |
王以平 |
摘要 |
一種高電子遷移率晶體管(HEMT)(10)包括一個半絕緣碳化基底(11),在基底上是氮化鋁緩沖層(12),在緩沖層上面是絕緣的氮化鎵層(13),氮化鎵層上是活性氮化鋁鎵結(jié)構(gòu)(14),其上是鈍化層 (23),和至氮化鋁鎵結(jié)構(gòu)的源、漏極和柵接點(21,22,23)。 |
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