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官方微信摘要 名稱碳化硅纖維高頻熱反應(yīng)裝置公開(kāi)號(hào)1071398公開(kāi)日1993.04.28主分類(lèi)號(hào)C03B37/09
| 名稱 | 碳化硅纖維高頻熱反應(yīng)裝置 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1071398 | 公開(kāi)日 | 1993.04.28 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C03B37/09 | 分類(lèi)號(hào) | C03B37/09 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 91109267.6 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1991.10.05 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 石家莊市電子加工技術(shù)研究所 | 地址 | 050091河北省石家莊市紅旗大街81號(hào) |
| 發(fā)明人 | 陳新謀; 王敬霞 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 河北省專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 王苑祥 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及到一種利用氣相沉積法制造碳化硅纖維的專(zhuān)用裝置。本發(fā)明利用高頻無(wú)接觸式加熱系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的直流加熱系統(tǒng)，裝置中包括收、放絲機(jī)構(gòu)，可導(dǎo)入反應(yīng)氣體的石英熱反應(yīng)器和高頻加熱系統(tǒng)三部分組成。高頻加熱系統(tǒng)中由射頻發(fā)生器產(chǎn)生高能量射頻電波，通過(guò)同軸傳輸電纜直聯(lián)至同軸型反相激勵(lì)式對(duì)稱耦合腔，套裝在石英熱反應(yīng)器上，在射頻電流激勵(lì)下，在耦合腔之間形成軸向勻強(qiáng)電磁場(chǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)載體絲加熱，并完成反應(yīng)氣體分解并以ＳｉＣ形式沉積的過(guò)程。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)