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官方微信摘要 名稱行波管用的金剛石桿的制備方法公開號(hào)1373492公開日2002.10.09主分類號(hào)H01J9/00
| 名稱 | 行波管用的金剛石桿的制備方法 | ||
| 公開號(hào) | 1373492 | 公開日 | 2002.10.09 |
| 主分類號(hào) | H01J9/00 | 分類號(hào) | H01J9/00;H01J23/00 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 02116694.3 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 2002.04.16 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 北京工業(yè)大學(xué) | 地址 | 100022北京市朝陽(yáng)區(qū)平樂(lè)園100號(hào) |
| 發(fā)明人 | 陳光華;張陽(yáng) | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 北京工大思海專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 張慧 |
| 摘要 | 一種行波管用的金剛石桿的制備方法屬于微波技術(shù)領(lǐng)域。該方法的特征在于：在的Al#-[2]O#-[3]桿上放置與其同厚的相同尺寸的Cu片，再放置于Al#-[2]O#-[3]襯底座上，在750～850℃溫度下使前二者焊接在一起；將此襯底座H#-[2]等離子體中清洗5－10min，微波功率300－400W，H#-[2]流量40－60sccm。金剛石成核條件：將微波功率提高至650W，CH#-[4]/H#-[2](體積比)＝20％，總流量200sccm，反應(yīng)壓力40乇，時(shí)間1h，射頻偏壓－100～－180V。金剛石生長(zhǎng)條件：CH#-[4]/H#-[2](體積比) ＝4％，微波功率600 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)