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官方微信摘要 名稱(chēng)納米金剛石薄膜的制備裝置公開(kāi)號(hào)1332268公開(kāi)日2002.01.23主分類(lèi)號(hào)C23C16/27
| 名稱(chēng) | 納米金剛石薄膜的制備裝置 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1332268 | 公開(kāi)日 | 2002.01.23 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C16/27 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/27;C23C16/50 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 01126358.X | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 2001.07.27 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究 | 地址 | 201800上海市800－211郵政信箱 |
| 發(fā)明人 | 龔輝;范正修 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 上海華東專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 李蘭英 |
| 摘要 | 一種納米金剛石薄膜的制備裝置，主要適用于在硅基板上制備大面積均勻納米金剛石薄膜。它包括帶有進(jìn)氣口和抽氣口的反應(yīng)爐體，反應(yīng)爐體內(nèi)充有氫氣和甲烷的混合氣體，并置有相互平行置放的正極板和負(fù)極板，在正極板和負(fù)極板處分別置有熱絲和基板。正與負(fù)極板之間連接有啟輝器和電壓調(diào)節(jié)器。當(dāng)正負(fù)兩極板之間的啟輝器產(chǎn)生瞬間高壓時(shí)，激活了反應(yīng)爐體內(nèi)的氫氣和甲烷的混合氣體，產(chǎn)生等離子體，調(diào)節(jié)正負(fù)兩極板間的電壓調(diào)節(jié)器，控制兩極板之間的電流恒定，致使反應(yīng)爐體內(nèi)的等離子體活化區(qū)穩(wěn)定。用本發(fā)明的制備裝置生長(zhǎng)出的納米金剛石薄膜比在先技術(shù)生長(zhǎng)的薄膜晶粒尺寸小、表面粗糙度小、內(nèi)應(yīng)力小、面積大而均勻 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)