經(jīng)歷了數(shù)次疫情的洗禮,第六屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)終于克服重重困難,于11月15日在深圳國(guó)際會(huì)展中心(寶安新館)正式開幕,全國(guó)各地科研院所、企業(yè)、專家等云集深圳,堅(jiān)持產(chǎn)學(xué)研結(jié)合,探討新技術(shù)、新工藝、新市場(chǎng),其中極端制造與超精密加工論壇于15日14:00-17:00成功舉辦。論壇由中國(guó)超硬材料網(wǎng)總經(jīng)理石超主持。
▲ 中國(guó)超硬材料網(wǎng)總經(jīng)理石超
本屆極端制造與超精密加工論壇齊聚頂級(jí)產(chǎn)學(xué)研嘉賓,以“金剛石與激光結(jié)合應(yīng)用技術(shù)、第三代半導(dǎo)體基片高效超精密拋光、復(fù)合材料加工技術(shù)、硬脆難加工材料、復(fù)合材料超高速磨削、微波CVD金剛石、聚焦離子束刻蝕”等為話題,舉行多場(chǎng)高質(zhì)量技術(shù)報(bào)告,來(lái)自全國(guó)各地的院士大咖、專家學(xué)者、企業(yè)代表分享研究成果,全方位、多層次深入探討,不一樣的熱點(diǎn),超前沿的話題!
下午兩點(diǎn)論壇正式開始,首先做報(bào)告的是南方科技大學(xué)講席教授、工學(xué)院副院長(zhǎng)張璧教授,報(bào)告題目是《超高速磨削加工難加工材料表面完整性研究》。
南方科技大學(xué)講席教授、工學(xué)院副院長(zhǎng)張璧教授做《超高速磨削加工難加工材料表面完整性研究》報(bào)告
報(bào)告內(nèi)容涉及理論分析、多尺度建模仿真、加工工藝、過(guò)程監(jiān)控和材料表征等,使用超高速加工設(shè)備、高應(yīng)變率霍普金森拉伸和壓縮設(shè)備、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等技術(shù)以及有限元方法和分子動(dòng)力學(xué)等多尺度模擬仿真手段,探索材料加工中表面完整性的演化規(guī)律,為企業(yè)提供高效優(yōu)質(zhì)加工方案。
接下來(lái)是南方科技大學(xué)機(jī)械與能源工程系吳勇波教授帶來(lái)的報(bào)告《光學(xué)非球面超聲輔助直線刃單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)研究》。
南方科技大學(xué)機(jī)械與能源工程系吳勇波教授做《光學(xué)非球面超聲輔助直線刃單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)研究》報(bào)告
報(bào)告中對(duì)于高性能光學(xué)非球面透鏡/反射鏡的高效精密加工制造,提出了超聲輔助直線刃單點(diǎn)金剛石超精密切削新方法。在分析了所提方法相較于傳統(tǒng)的金剛石磨削和圓弧刃單點(diǎn)金剛石切削優(yōu)勢(shì)的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)制作了超聲切削裝置,并搭載到超精密數(shù)控車床上構(gòu)建了實(shí)驗(yàn)裝置。針對(duì)適合于遠(yuǎn)紅外探測(cè)的硒化鋅材料和EUV光刻機(jī)光路系統(tǒng)反射鏡不可或缺的微晶玻璃,進(jìn)行了非球面超精密切削加工實(shí)驗(yàn)。一系列不同參數(shù)下的實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在合適加工參數(shù)下,可獲得表面粗糙度Ra10nm左右、面形精度約100nm的高表面質(zhì)量高面形精度非球面,同時(shí)超聲作用可大幅度減輕刀具磨損,驗(yàn)證了該新方法具備高效高精加工光學(xué)非球面的高度可行性。
第三場(chǎng)報(bào)告嘉賓是深圳優(yōu)普萊等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)董事長(zhǎng)全峰,做題目為《基于MPCVD技術(shù)的金剛石涂層制備及其先端工業(yè)應(yīng)用》的報(bào)告。
深圳優(yōu)普萊全峰董事長(zhǎng)做《基于MPCVD技術(shù)的金剛石涂層制備及其先端工業(yè)應(yīng)用》的報(bào)告
報(bào)告中全總指出高品質(zhì)的金剛石涂層在尖端精密機(jī)械,光學(xué),生物醫(yī)學(xué),能源環(huán)境和半導(dǎo)體領(lǐng)域具有非常重要的應(yīng)用。該技術(shù)長(zhǎng)期掌握在歐美日少數(shù)公司手中,屬于典型的“卡脖子”的高端材料。本報(bào)告圍繞目前市場(chǎng)上的主流金剛石涂層制備技術(shù)展開,熱絲CVD,諧振腔MPCVD,線性等離子體MPCVD。分析各種制備技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。最后分析了金剛石涂層的各領(lǐng)域市場(chǎng)份額和趨勢(shì),為MPCVD的發(fā)展指明了方向。
論壇最后一場(chǎng)報(bào)告是由大連理工大學(xué)孫吉寧教授在線分享的《聚焦離子束刻蝕與跨尺度微納制造》。
大連理工大學(xué)孫吉寧教授在線分享《聚焦離子束刻蝕與跨尺度微納制造》
孫教授長(zhǎng)期致力于微納米制造、微納功能表面、微納傳感器方面的前沿研究。成功研發(fā)了第一代可以用于大尺寸微納加工制造的納米級(jí)金剛石切割工具,孫教授掌握的超精密聚焦離子束三維刻蝕核心技術(shù),打破了該領(lǐng)域幾十年來(lái)的尺度極限,在超精密納米加工中,解決了各種瓶頸問(wèn)題,在孫教授看來(lái),高精度與高效率是超精密加工永恒的主題,探索能兼顧效率和精度的加工方法,是他永恒的目標(biāo)。每場(chǎng)報(bào)告大約25分鐘,每場(chǎng)報(bào)告結(jié)束后,有問(wèn)答環(huán)節(jié)。現(xiàn)場(chǎng)的各位業(yè)界專家們也積極與報(bào)告嘉賓互動(dòng),并對(duì)相關(guān)話題展開了討論。
報(bào)告結(jié)束,主持人為每位報(bào)告嘉賓頒發(fā)證書,并合影留念!
根據(jù)會(huì)議安排,15日還同期舉辦了Workshop:激光遇見碳——金剛石與激光結(jié)合的應(yīng)用探索,由浙江富研新型材料有限公司首席科學(xué)家兼技術(shù)總監(jiān)宋建民教授主持,并做了專業(yè)的分享,之后相關(guān)企業(yè)及專家團(tuán)隊(duì)就十多個(gè)話題共同探索金剛石與激光結(jié)合的應(yīng)用以及金剛石在光電器件領(lǐng)域應(yīng)用。
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